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J-GLOBAL ID:201602217295980253   整理番号:16A0058355

増強された性能に対する仕事関数操作電荷プラズマダイオード

Work function engineered charge plasma diodes for enhanced performance
著者 (2件):
資料名:
巻: 48  号: 49  ページ: 495101,1-6  発行年: 2015年12月16日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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この論文では,ドーピングの無いダイオードが設計され,Silvaco TCADツールを使用してシミュレーションされた。負及び正の電荷プラズマの形成が2つの金属,すなわち,カソード及びアノード下で観察され,異なる仕事関数で選定された。これは埋もれた酸化物層の頂部で薄い固有のシリコン体(6×1014cm-3)のp-n接合形成に導く。素子に対するオン電流/オフ電流(ION/IOFF)比は高いION電流~10-8Aμm-1において300Kでほぼ107である。性能はシリコン厚さのような異なるプロセスパラメータと金属仕事関数に対して評価される。また,熱解析は考察下の素子の良好な整流特性を示す。
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分類 (2件):
分類
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電子放出一般  ,  ダイオード 
タイトルに関連する用語 (4件):
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