文献

J-GLOBAL ID：201602217301849636   整理番号：16A0365432

複合砥粒を用いた研磨に適した研磨パッドの表面構造

The surface structure of polishing pads for polishing using composite abrasives

著者 (5件)： 一廼穂直聡 (立命館大) ,  村田順二 (立命館大) ,  村田順二 (近畿大) ,  谷泰弘 (立命館大) ,  ZHANG Yu (立命館大)
資料名： 日本機械学会論文集(Web)  (Bulletin of the JSME (Web))
巻： 82  号： 835  ページ： 15-00447(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： U0182B  ISSN： 2187-9761  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガラス研磨には,酸化セリウムとウレタン樹脂研磨パッドの組み合わせが用いられる。しかし,酸化セリウムは分散性や洗浄性に問題を抱えている。また,研磨加工のコストダウンには研磨能率向上が必要不可欠となっている。本研究では,砥粒とポリマ微粒子を複合化した複合砥粒の研磨パッド上での滞留性に着目し,研磨パッド構造の最適化を試みた。その結果,20-60μm程度の開孔径を持つスエードタイプ研磨パッドで優れた研磨特性を発揮した。発泡タイプの研磨パッドに小径気孔を用いたところ,分級した複合砥粒の研磨能率が約2倍向上した。エポキシ樹脂研磨パッドに小径気孔を適用した結果,分級した複合砥粒の研磨能率向上に寄与できた。(著者抄録)

シソーラス用語： 研削材 ,  *研磨 ,  *表面構造 ,  酸化セリウム ,  ポリウレタン ,  分散度 ,  *原価低減 ,  効率化 ,  砥粒 ,  最適化 ,  *エポキシ樹脂 ,  *気孔 ,  *起泡 ,  *ガラス
準シソーラス用語： ポリマ微粒子 ,  研磨パッド ,  研磨特性 ,  *洗浄性 ,  複合化 ,  *複合砥粒

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 複合砥粒 ,  研磨 ,  研磨パッド ,  表面構造