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J-GLOBAL ID：201602218129806438   整理番号：16A0136307

MRFの進歩が精密光学におけるよりよい中間空間周波数修正を可能にする

Advances in MRF enable better mid-spatial frequency correction on precision optics

著者 (1件)： MALONEY Chris (QED Technol., NY)
資料名： Laser Focus World  (Laser Focus World)
巻： 51  号： 12  ページ： 43-45  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： B0681B  ISSN： 1043-8092  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高エネルギーレーザ,リソグラフィ,X線などの応用ではこれまで以上のタイトなMSF(mid-spatial frequency)と粗さ仕様を必要としMRF(magnetorheological finishing)技術が用いられてきた。MRFによる高精密フリーフォーム光学要素の製作の例について説明した。新しいMRF技術により形状誤差を~1nm RMS,中間空間周波数誤差を~1mm以下,最終表面粗さを~1Å RMSへの修正が可能となる。最適MRFプロセスフロー,精細形状修正の実行について述べた。

シソーラス用語： *磁性流体 ,  *空間周波数 ,  *精密化 ,  *光学 ,  *中規模 ,  高出力レーザ ,  リソグラフィー ,  X線 ,  光学素子

分類 (1件)： 光学一般  (BD03010Q)

タイトルに関連する用語 (3件)： MRF ,  光学 ,  空間周波数