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J-GLOBAL ID:201602218172641965   整理番号:16A0098605

大型SiC軸外非球面の高速研削【Powered by NICT】

Fast grinding of large SiC off-axis aspheric surface
著者 (7件):
資料名:
巻: 23  号:ページ: 2497-2505  発行年: 2015年 
JST資料番号: C2090A  ISSN: 1004-924X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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宇宙リモートセンサに用いられるSiC軸外大非球面のための高速超音波研削を研究した。研削,ダイヤモンド砥石結合の選択,工作機械の選択及び凝結研削パラメータの原理を解析し,研削工程を設計した。軸外し非球面表面の高精度モデルはリバースエンジニアリングの原理に基づいて確立し,レーザトラッカーにより大きな軸外非球面鏡のための微粉砕状態におけるオンライン試験法を確立した。エンジニアリング例と併用した,700mm×700mmの開口をもつ大きなSiC軸外非球面のモデルをリバースエンジニアリング原理により確立された,超音波法による粉砕とレーザトラッカを用いて測定した。後表面誤差の3サイクル(4時間当たり研削のサイクル),PV値(45.986μm)とRMS値(7.949μm)は12.181μmと2.131μmに減少した。三配位試験結果と比較して,PV値とRMS値の誤差は0.892μmと0.312μmであった。研削技術はSiC軸外大非球面のための高速および高精度研削を実現し,その加工精度,効率,表面品質を改善することを結論した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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光学情報処理 
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