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J-GLOBAL ID：201602218187636363   整理番号：16A0080064

水素ダイヤモンド状炭素膜の構造と摩擦特性に及ぼすH_2とCH_4の流量比の影響【Powered by NICT】

Effects of Flow Ratio of H_2 and CH_4 on Structure and Friction Properties of Hydrogen Diamond-like Carbon Films

著者 (6件)： Wu Jinlong (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou) ,  Zhou Hui (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou) ,  Zheng Jun (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou) ,  Yang Lamaocao (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou) ,  Zhang Yanshuai (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou) ,  Hu Hanjun (Key Lab for Surface Engineering Technol., Lanzhou Inst. of Physics, Lanzhou)
資料名： Zhongguo Biaomian Gongcheng  (Zhongguo Biaomian Gongcheng)
巻： 28  号： 1  ページ： 42-48  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2759A  ISSN： 1007-9289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 各種水素満足そうなダイヤモンド状炭素膜はPECVD技術によりSi(100)ウエハ上に堆積した。水素化ダイヤモンド状炭素膜の摩擦と摩耗挙動に及ぼすH_2とCH_4の流量比の影響を調べた。微細構造,断面形態,及び力学特性を,ラマン分光法,赤外分光法,走査電子顕微鏡(SEM),ナノ硬度とナノ引かき試験機によって得られた。異なった荷重と速度環境雰囲気における膜のトライボロジー特性は,ボール-ディスク試験機で調べた。結果は,PECVDにより作製した膜は典型的な水素化ダイヤモンド状炭素の特性と高水素含有量,良好な滑らかでコンパクトなことを示した。H_2とCH_4の流量比の増加と共に,膜の硬度と接着力は減少した。膜は,同じ負荷と速度を受けるとき,膜は,周囲雰囲気下で良好なトライボロジー特性を持つ,H_2とCH_4の流量比は摩擦係数に大きく影響した。高負荷の下で,速度は低負荷と比較して摩擦係数にほとんど影響を及ぼさなかった。すべての膜の摩耗速度は10~(-8)-10~(-7)mm~3nmの範囲で変化し,H_2とCH_4の流速の増加と共に増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 硬度 ,  プラズマCVD ,  摩耗速度 ,  *水素 ,  走査電子顕微鏡 ,  流速 ,  摩擦係数 ,  水素化 ,  試験装置 ,  Raman分光法 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  引かき試験
準シソーラス用語： トライボロジー特性 ,  *流量比 ,  *摩擦特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦特性 ,  流量比