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J-GLOBAL ID：201602218379413903   整理番号：16A0100909

リソグラフィー投写レンズの波面収差測定のためのRonchiシアリング干渉測定に関する研究【Powered by NICT】

Study on Ronchi Shearing Interferometry for Wave-Front Aberration Measurement of Lithography Projection Lens

著者 (5件)： Wu Feibin (Lab. of Information Optics and Opto-Electronic Technol., Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. ...) ,  Tang Feng (Lab. of Information Optics and Opto-Electronic Technol., Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. ...) ,  Wang Xiangzhao (Lab. of Information Optics and Opto-Electronic Technol., Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. ...) ,  Li Jie (Lab. of Information Optics and Opto-Electronic Technol., Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. ...) ,  Li Sikun (Lab. of Information Optics and Opto-Electronic Technol., Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. ...)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 42  号： 3  ページ： 0308008-1-0308008-8  発行年： 2015年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： Ronchiシヤリング干渉法は拡張源を用いた光場の空間コヒーレンスを調節する。簡単な構造の利点,共通経路,ヌル-干渉縞検出などを用いたRonchiシヤリング干渉計をリソグラフィー投影レンズのその場収差測定に用いることができる。リソグラフィー投写レンズの波面収差測定のためのRonchiシヤリング干渉法を研究した。Ronchiシヤリング干渉計の干渉モデルを格子回折と空間コヒーレンスの理論により導出した。高次回折光,位相回復の精度を制限するからの望ましくない干渉の負の効果を除去するために提案したtenstep位相シフトアルゴリズム。位相回復精度に及ぼす干渉最初±9桁の影響を除去することができた。山-谷(PV)値と理論的位相回復誤差の二乗平均平方根(RMS)値は,それぞれ0.0046λ以下と0.0019λである。理論的干渉モデルと位相回復アルゴリズムを検証した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光 ,  実効値 ,  *波面収差 ,  位相回復 ,  アルゴリズム ,  *干渉 ,  位相 ,  干渉縞 ,  *リソグラフィー ,  回折 ,  干渉測定 ,  シヤリング干渉計
準シソーラス用語： *収差測定 ,  空間コヒーレンス ,  *投写レンズ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： リソグラフィー ,  投写レンズ ,  波面収差 ,  シアリング ,  干渉測定 ,  研究