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J-GLOBAL ID：201602218495764080   整理番号：15A1302043

ZnO薄膜の成長温度に依存した光学的およびアセトン検出特性【Powered by NICT】

Growth-temperature-dependent optical and acetone detection properties of ZnO thin films

著者 (2件)： Shewale P S (Convergence of IT Devices Inst., Dong-Eui Univ., Korea, Busan) ,  Yu Y S (Convergence of IT Devices Inst., Dong-Eui Univ., Korea, Busan)
資料名： Journal of Semiconductors  (Journal of Semiconductors)
巻： 36  号： 7  ページ： 073001-01-073001-05  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2377A  ISSN： 1674-4926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛(ZnO)薄膜を,二段階噴霧熱分解法により,適度に低い成長温度でガラス基板上に調製した。構造的,光学的およびアセトン検出特性に及ぼす成長温度の影響をX線回折,UV-可視分光光度計,光ルミネセンス(PL)分光法と自家製ガスセンサ試験装置を用いてそれぞれ調べた。全ての膜は六方晶ウルツ鉱相の多結晶で,[002]方向に沿った優先配向を示した。膜結晶性は成長温度の増加に伴って徐々に増強された。光学測定から,全ての膜は可視領域で82%以上の透過率を持つ極めて透明な物理的であることを示した。膜のバンドギャップは成長温度の上昇で僅かな赤方偏移を示すことが観察された。膜のPL研究によると,~395nmで紫外/紫外PLバンドを示した。調べた全ての膜の中で,250°Cで堆積した膜は300°Cの操作温度で20ppmのアセトン蒸気に対して13%の最大感度を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  バンドギャップ ,  光学的測定 ,  ガスセンサ ,  *薄膜 ,  赤方偏移 ,  優先配向 ,  光ルミネセンス ,  六方晶系 ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： 可視領域 ,  ウルツ鉱 ,  ガラス基板 ,  噴霧熱分解法 ,  *成長温度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO薄膜 ,  成長温度 ,  光学 ,  アセトン