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J-GLOBAL ID:201602219112734014   整理番号:15A1298644

VC/TiC超格子膜の微細構造と超硬度効果【Powered by NICT】

Microstructure and superhardness effect of VC/TiC superlattice films
著者 (5件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 2581-2586  発行年: 2015年 
JST資料番号: W0396A  ISSN: 1003-6326  CODEN: TNMCEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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バナジウムcarbide/チタン炭化物(VC/TiC)超格子膜を,マグネトロンスパッタリング法により合成した。微細構造変化と機械的性質に及ぼす変調周期の影響をEDXA,XRD,HRTEM,およびナノインデンテーションにより調べた。結果は変調周期が臨界値,硬度の顕著な増加を伴うより小さいときVC/TiC超格子膜はエピタキシャル構造を形成することを明らかにした。さらに変調周期を増加させ,超格子の硬度はエピタキシャル構造の破壊に起因した混合則値にゆっくり減少した。XRDの結果は,三方向株はエピタキシャル構造が形成されるとき超格子で発生することを明らかにした,これは構成層の弾性率を変える可能性がある。VC/TiC超格子の顕著な硬度の増加を説明するかもしれない。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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