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J-GLOBAL ID：201602219185865761   整理番号：16A0024403

中空微小共振器としての自己組織化「微小折り紙」光子ケージ

Self-assembly “micro-origami” photon cages as hollow micro-resonators

著者 (9件)： DANESCU A. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  CHEVALIER C. (Univ. Sherbrooke, CAN) ,  ARTINYAN R. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  REGRENY P. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  GRENET G. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  CALLARD S. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  ROJO-ROMEO P. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  LETARTRE X. (Univ. Lyon, Ecully, FRA) ,  LECLERCQ J.L. (Univ. Lyon, Ecully, FRA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9520  ページ： 95200O.1-95200O.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超薄膜のエピタキシャル蒸着によって誘起された応力は3次元自己組織化のための駆動メカに図として有用である。機械的見地から,緩和プロセスは小さな歪であるが,大きな回転や変位を伴う。球面曲線形状に対して,筆者らは最終的な3次元対象物とその対応する2次元マスクパターンの間の関係を示した。筆者らは3D中空光学微小共振器を製作するために規定された巨視的3D対象物を得るために材料組成,マスク設計,そしてエッチングプロセスを制御することによってInPベースの材料に対する実験的アプローチを開発した。筆者らのアプローチはフォトニクスや微小機械エンジニアリングの両方の世界から恩恵を受ける。その個々の特徴はフォトニック結晶によって提供された光学モードエンジニアリングの可能性と低屈折率材料の光制御のための新しい方法を開拓する制御された応力緩和法によって提供された3D構造加工の汎用性を組み合わせることによる。

シソーラス用語： *微小共振器 ,  型 ,  自己組織化 ,  *エッチング ,  *フォトニック結晶 ,  屈折率 ,  応力緩和
準シソーラス用語： マスクパターン

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 中空 ,  微小共振器 ,  自己組織化 ,  微小 ,  折り紙 ,  光子 ,  ケージ