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J-GLOBAL ID：201602219545218231   整理番号：16A0286705

三次元微細形状測定のための静電気力顕微鏡に関する研究

著者 (6件)： 細渕啓一郎 (東北大) ,  JIA Zhigang (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  HE Gaofa (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 48th  ページ： 182-183  発行年： 2013年03月15日 
JST資料番号： L0012A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡の開発を目的とする。水晶振動子に接着した探針と試料との間に電位差を与え,これらの間に働く静電気力を検出しながら試料表面を非接触で倣い走査する。静電気力に影響を与える試料表面電荷分布等のパラメータを除去して探針・試料間の絶対距離を算出することで表面形状を定量的に取得する方法を提案し,製作した顕微鏡による探針・試料間距離50nm以上での非接触形状測定結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *力顕微鏡 ,  静電気 ,  形状測定 ,  水晶振動子 ,  プローブ ,  距離測定 ,  非接触測定 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  試作 ,  金属薄膜 ,  *実験
準シソーラス用語： 金薄膜 ,  *検証実験 ,  静電気力 ,  *静電気力顕微鏡 ,  表面形状測定

分類 (2件)： 静電気学,静磁気学  (BD01010C) ,  静電機器  (NB10020R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細形状 ,  静電気力顕微鏡 ,  研究