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J-GLOBAL ID：201602219613660485   整理番号：16A1318995

AlNベース圧電微細加工超音波トランスデューサ(pMUT)アレイ【Powered by NICT】

An AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer (pMUT) array

著者 (8件)： Zhu Qifeng (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, 215123, China) ,  Chen Tao (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, 215123, China) ,  Liu Huicong (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, 215123, China) ,  Sun Lining (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, 215123, China) ,  Wang Tao (Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore 117576) ,  Lee Chengkuo (Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore 117576) ,  Le Xianhao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Xie Jin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： NANO  ページ： 731-734  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無線エネルギー伝送の開発である植込み型医療機器(IMD)の促進に重要である。本論文では,窒化アルミニウム(AlN)に基づく圧電微細加工超音波変換器(pMUT)アレイを設計し,作製し,特徴づけられ,それはIMDの可能性電力供給できる。は4×4ユニットの小型化AlN膜アレイから作製されるのでpMUTアレイは無線給電システムとの統合にとって理想的に適している。シミュレーションと実験の両方は,pMUT素子を特性化した。作製したpMUTアレイの送信感度は527kHzの共振周波数で83nm/Vと測定された。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 医療機器 ,  キャラクタリゼーション ,  *微細加工 ,  電力供給 ,  送信 ,  *超音波変換器 ,  小型化 ,  *窒化アルミニウム ,  共振周波数 ,  *圧電気
準シソーラス用語： ワイヤレス ,  無線エネルギー伝送 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 信号理論  (ND02020G) ,  アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (5件)： AlN ,  圧電 ,  微細加工 ,  超音波トランスデューサ ,  アレイ