文献

J-GLOBAL ID：201602219853029296   整理番号：16A0027342

ノート:シリコンオンインシュレータを用いた油井のための高温圧力センサ

Note: High temperature pressure sensor for petroleum well based on silicon over insulator

著者 (4件)： TIAN Bian (State Key Lab. for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, Shaanxi, CHN) ,  LIU Hanyue (State Key Lab. for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, Shaanxi, CHN) ,  YANG Ning (State Key Lab. for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, Shaanxi, CHN) ,  ZHAO Yulong (State Key Lab. for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, Shaanxi, CHN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 86  号： 12  ページ： 126103-126103-3  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文において,油井における要求を満たすために,シリコンオンインシュレータ(SOI)技術を用いた高温圧力センサの新奇な構造を提案した。静電結合により,SOIセンサチップをガラスリングと結合した。ガラスリングの内径を制御することによって,精密なサイズの円形膜が得られた。分析を通じて,構造の詳細なパラメータを確立した。ついで,センサを作製した。試験結果から,この型のセンサは高い感度と精度を持つことがわかった。180°Cまでの温度と60Mpaまでの測定範囲で測定することができる。さらに,実際の状況により近い結果が得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *油井 ,  *圧力センサ ,  環境
準シソーラス用語： シリコンオンインシュレータ ,  高温環境

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ノート ,  シリコンオンインシュレータ ,  油井 ,  圧力センサ