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J-GLOBAL ID：201602220816307659   整理番号：16A0868149

IoT社会の中でのMEMS

著者 (2件)： 田中秀治 (東北大 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 マイクロシステム融合研究開発セ) ,  田中秀治 (日本機械学会)
資料名： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
巻： 119  号： 1174  ページ： 506-509  発行年： 2016年09月05日 
JST資料番号： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 世の中に大量のセンサをばらまいて,世の中をデータ化し,そのデータ解析によってさまざまな利益をもたらそうとするIoTが注目されていると述べ,本稿では,IoTにおいて,その必須要素の一つで将来性のあるセンサ,特にその中核となるMEMSについて解説した。MEMSは,私たちのあらゆる生活に入り込んでおり,例えばFBARフィルターは,スマートフォンで無線通信の根幹である周波数選択を担っていると説明した。また,FBARフィルターで共振している圧電薄膜や,MEMSマイクロフォン,慣性センサ(加速度センサ,ジャイロスコープ)を取り上げ,それぞれを概説した。次いで,これからのMEMSに言及し,例えば自動車の自動運転に関し,ジャイロスコープ,レーザ距離画像センサ,GPSを取り上げ,それぞれを概説した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *センサ ,  社会 ,  *データ解析 ,  音響共振器 ,  フィルタ ,  *スマートフォン ,  無線伝送 ,  選択性 ,  *マイクロホン ,  速度センサ ,  *ジャイロスコープ ,  自動車 ,  *自動運転 ,  イメージセンサ ,  *GPS ,  レーザ距離計 ,  加速度センサ ,  慣性センサ ,  周波数選択性
準シソーラス用語： *GPS【位置決め】 ,  FBAR ,  *IoT ,  圧電薄膜

分類 (1件)： 研究開発  (QA01040P)

引用文献 (5件)：

• 三宅常之,IoTに印刷の力,日経エレクトロニクス,2016年2月号,(2016),26-32.
• 田中秀治,MEMSはもうかる「IEEE MEMS 2016」学会報告,日経テクノロジーオンライン,2016年1月28日 http://techon.nikkeibp.co.jp/atcl/news/16/012800356/
• TSensors http://www.tsensorssummit.org/
• 田中秀治,MEMSセンサー,集積化手法に新潮流,日経テクノロジーオンライン,2015年6月29日 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20150629/425362/
• 田中秀治,チップ上にフーコー振子-高性能MEMSジャイロ自動運転などに向けて開発が進む,日経テクノロジーオンライン,2015年7月17日 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/COLUMN/20150717/428300/

タイトルに関連する用語 (3件)： IoT ,  社会 ,  MEMS