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J-GLOBAL ID：201602221938051426   整理番号：16A1127081

CUALO_2薄膜の構造と光学的性質に及ぼす基板温度の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of substrate temperature on structure and optical properties of CuAlO_2 thin film

著者 (3件)： Xu Jicheng (Faculty of Materials and Energy, Guangdong University of Technology) ,  Xie Zhiwei (Faculty of Materials and Energy, Guangdong University of Technology) ,  Yang Yuanzheng (Faculty of Materials and Energy, Guangdong University of Technology)
資料名： Dianzi Yuanjian yu Cailiao  (Dianzi Yuanjian yu Cailiao)
巻： 35  号： 7  ページ： 42-45  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2506A  ISSN： 1001-2028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング法により、異なる温度の石英基板上にCUALO_2薄膜を調製し、アニール処理後、CUALO_2薄膜の表面形態、相構造及び光学性能を研究した。実験結果は以下を示す。基板温度の増加により、薄膜の結晶粒は次第に形成され、成長し、表面組織はますます均一になり、光透過率も増強される。総合的な比較により、以下のことが分かった。基板温度が400°Cの時、薄膜の全体性能は最適となり、XRDスペクトル中の(101)回折ピークは最も強く、結晶粒の大きさは均一であり、可視光透過率は76.6%、光学バンドギャップ幅は3.69EVであった。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学ギャップ ,  表面構造 ,  *光学的性質 ,  回折 ,  焼なまし ,  *基板温度 ,  可視光 ,  X線回折 ,  マグネトロンスパッタリング ,  透過率 ,  結晶粒 ,  *薄膜
準シソーラス用語： 光透過率 ,  表面形態 ,  石英基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： CuAlO_2 thin film ,  magnetron sputtering ,  substrate temperature ,  light transmittance ,  band gap ,  surface morphology

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  光学的性質 ,  基板温度 ,  研究