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J-GLOBAL ID:201602222790403156   整理番号:16A0726812

InP基板上にZnSnAs_2:Mn薄膜の膜特性へのMBE成長パラメータの影響【Powered by NICT】

Influence of MBE growth parameters on film properties of ZnSnAs2:Mn thin films on InP substrates
著者 (6件):
資料名:
巻: 2016  号: CSW  ページ: 1-2  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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InP基板上に分子ビームエピタクシー(MBE)により成長させたMnドーピングなし多元ZnSnAs_2薄膜の膜特性に及ぼす成長パラメータの影響を調べた。成長パラメータとして,基板温度とビーム等価圧力(BEP)を変化させた。基板温度が340°Cのときに最も化学量論ZnSnAs_2薄膜が得られた。高品質MnドープZnSnAs_2(ZnSnAs_2:Mn)薄膜をZn源のビームフラックスを減少させることにより実現できることを見出した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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データ通信  ,  システム同定 

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