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J-GLOBAL ID：201602223596163621   整理番号：16A0823973

静電容量センサ線形性較正プラットフォーム【JST・京大機械翻訳】

Linearity calibration platform of capacitive sensors

著者 (5件)： Zhang Defu (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences) ,  Ge Chuan (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Xianling (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences) ,  Ni Mingyang (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences) ,  Guo Kang (Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 1  ページ： 143-151  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 1つの容量変位センサのオンライン較正プラットフォーム,変位のための高精度の調節と検出を設計した。このプラットフォームの運動中心対称軸と測定光路の対称中心軸センサのセンス軸同軸,原理上測定から,ABBE誤差を低減するため。較正プラットフォームが持つZ/TIP/TILT機能を調節し,センサのセンシング面と被検パネルの測面れの間の設計,アラインメントを保証した。較正プラットフォームの構成と較正方法の原理を紹介し,採用する対称平行四辺形機構の微小変位を調節,柔軟性マトリックス法(CMM)に基づくガイド機構の出力コンプライアンスと行程を分析し実現した。得られたプラットフォームのストロークは735.162ΜCMMM,有限要素法(FEM)と計算結果の誤差はそれぞれ7.410%と4.633%であり,ストロークの誤差要求を満たす動試験により測定した。キャリブレーション補償を経た後に,センサの直線性は0.006~0.01421%向上,231%。実験結果は校正後のセンサはこの線形性較正方法の精度が高く,変位の精密な調節機構を使用の要求を満たすことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 対称性 ,  パネル ,  柔軟性 ,  アラインメント ,  有限要素法 ,  *センサ ,  *線形性 ,  コンプライアンス
準シソーラス用語： 微小変位 ,  平行四辺形 ,  光路 ,  高精度 ,  オンライン ,  変位センサ ,  *静電容量センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： capacitive sensor ,  linearity calibration ,  calibration platform ,  compliance matrix

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電容量センサ ,  線形性 ,  較正 ,  プラットフォーム