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J-GLOBAL ID：201602227414102688   整理番号：16A0585619

低損失と平坦波長窓を有する垂直湾曲したSi導波路結合器【Powered by NICT】

Vertically Curved Si Waveguide Coupler with Low Loss and Flat Wavelength Window

著者 (8件)： Yoshida Tomoya (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan) ,  Omoda Emiko (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan) ,  Atsumi Yuki (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan) ,  Nishi Takashi (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan) ,  Tajima Syougo (Dept. of Electron. & Bio-Inf., Meiji Univ., Kawasaki, Japan) ,  Miura Noboru (Dept. of Electron. & Bio-Inf., Meiji Univ., Kawasaki, Japan) ,  Mori Masahiko (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan) ,  Sakakibara Youichi (Electron. & Photonics Res. Inst., Nat. Inst. of Adv. Ind. Sci. & Technol., Tsukuba, Japan)
資料名： Journal of Lightwave Technology  (Journal of Lightwave Technology)
巻： 34  号： 7  ページ： 1567-1571  発行年： 2016年 
JST資料番号： H0922A  ISSN： 0733-8724  CODEN： JLTEDG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超小型フォトニック集積回路を可能にするシリコンフォトニクス光ファイバまたはoffchip他の光学部品を用いたシリコン導波路を結合する効率的な光結合器を開発する必要性を誘導した。垂直結合器であるウエハレベル試験とチップ表面上に光学部品の統合の両方に対して有望であるが,これまで格子結合器は唯一の解決策実質的にした。ごく最近,著者らは,イオン注入法により形成した数ミクロンスケール垂直方向に曲がったシリコン導波路結合器「ゾウ結合器」を開発した。結合器は波長窓の高い結合効率,弱い波長依存性と弱い入射角依存性,回折格子結合器によって得られるを持つことを示した。また,熱アニーリング処理が,イオン注入により誘起された光伝搬損失を低減できることを示した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *導波路 ,  *ケイ素 ,  イオン注入 ,  光結合器 ,  *波長 ,  *結合器 ,  光集積回路 ,  波長依存性 ,  格子結合器 ,  光学部品 ,  シリコンフォトニクス ,  超小型
準シソーラス用語： 伝搬損失 ,  結合効率 ,  *導波管結合器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： シリコンフォトニクス ,  イオン注入 ,  光相互接続

分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (8件)： 低損失 ,  平坦 ,  波長 ,  窓 ,  垂直 ,  湾曲 ,  Si ,  導波路結合器