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J-GLOBAL ID：201602227557911813   整理番号：16A0412940

小径基板洗浄機『Ecclear(エクリア)』

著者 (4件)： 坂本昌隆 (並木精密宝石 NJC技研) ,  青田奈津子 (並木精密宝石 NJC技研) ,  石田悠宗 (並木精密宝石 NJC技研) ,  會田英雄 (並木精密宝石 NJC技研)
資料名： 産業洗浄  (Industrial Cleaning)
号： 17  ページ： 15-19  発行年： 2016年04月15日 
JST資料番号： L7969A  ISSN： 2188-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 小径基板の洗浄乾燥において一般的によく用いられる手法として,ビーカーワークによる溶液洗浄,リンス,およびエアーブロー乾燥方式がある。サファイア基板を例にあげると,溶液洗浄はビーカーワークでも効果が得られるものの,仕上げ洗浄における純水枚葉洗浄およびスピン乾燥には,マニュアル操作によるパーティクルの再付着を避けるためにも,専用装置を用いるのが望ましい。そこで,小径基板を高清浄度に洗浄乾燥できる偏心機構を備えた洗浄装置を開発した。本装置によるデバイス形成プロセスへの影響を検証することで,その高い洗浄能力を実証し,さらに乾燥前の水滴形成位置を制御する独自機構を備えることで,偏心乾燥するだけでは高清浄度乾燥ができない基板に対しても,その解決策の検討を行った。これらの一連の開発により実現した小径基板専用の小型洗浄機Ecclearを紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *小口径 ,  *洗浄装置 ,  *基板 ,  洗浄 ,  乾燥 ,  溶液 ,  空気 ,  吹込 ,  仕上 ,  スピン ,  粒子 ,  付着 ,  偏心 ,  サファイア基板 ,  再付着
準シソーラス用語： *小径 ,  *洗浄機器 ,  リンス ,  エア ,  ブローイング ,  パーティクル

分類 (2件)： 集塵  (XD02100D) ,  仕上げ  (YM06030F)

引用文献 (1件)：

• 坂本昌隆、青田奈津子、石田悠宗、會田英雄;第146回プラナリゼーションCMP委員会研究会資料(2015)p.23-27.

タイトルに関連する用語 (2件)： 小径 ,  基板洗浄