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J-GLOBAL ID：201602232613246506   整理番号：16A0782525

非晶質窒化炭素膜に及ぼす可視光の長期照射の影響

Long-term irradiation effects of visible light on amorphous carbon nitride films

著者 (5件)： Harata Tomo (Department of Materials Science and Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, Kanagawa 239-8686, Japan) ,  Aono Masami (Department of Materials Science and Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, Kanagawa 239-8686, Japan) ,  Miyazaki Hisashi (Department of Materials Science and Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, Kanagawa 239-8686, Japan) ,  Kitazawa Nobuaki (Department of Materials Science and Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, Kanagawa 239-8686, Japan) ,  Watanabe Yoshihisa (Department of Materials Science and Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, Kanagawa 239-8686, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 63  ページ： 132-135  発行年： 2016年03月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質窒化炭素膜(a-CN_x)膜の光誘起変形に及ぼす長期可視光照射の影響を組織的に研究した。反射性無線周波数マグネトロンスパッタリングによってSiO₂基板(30×2×0.05mm²)表面にa-CN_x膜を蒸着した。a-CN_x膜の変形を470nm波長の連続波(CW)又はパルス単色光を用いて測定した。パルス光照射を60sのオン/オフパルス周期で総計60分間行い,また一方CW光照射は,全光子光束が一定の状態であるように異なる光強度で120,150及び759分間行った。すべての事例で,a-CN_x膜の光誘起変形の進行度は照射前後で変わらなかった。X線光電子分光法(XPS)とRaman分光法で判定した化学結合状態は照射後に著しい変化がないことを示した。さらに,電子スピン共鳴(ESR)測定は照射後の欠陥密度の増大はないことを示した。a-CN_x膜の長期安定性は光駆動マイクロアクチェエータでの利用の目的に合う主な長所の一つである。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 炭素化合物 ,  窒化物 ,  薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  二酸化ケイ素 ,  *光照射 ,  パルス光光源 ,  可視光 ,  単色光 ,  連続波 ,  変形 ,  化学結合 ,  X線光電子分光法 ,  欠陥密度 ,  格子欠陥 ,  ESR【磁気共鳴】 ,  安定性 ,  利用 ,  マイクロアクチュエータ
準シソーラス用語： *非晶質窒化炭素膜 ,  *光誘起変形 ,  光駆動マイクロアクチェエータ

著者キーワード (5件)： Amorphous ,  Carbon nitride ,  Sputtering ,  Photo-mechanical ,  Actuators

分類 (4件)： 窒素とその化合物  (YB02050S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の光学的効果  (BM08040H) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 非晶質 ,  窒化 ,  炭素膜 ,  可視光 ,  長期照射