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文献
J-GLOBAL ID:201602234140874098   整理番号:16A0477604

高精度加工と計測技術-計測・測定機器・システムの最適活用のポイント〔解説〕超精密形状計測加工システム-ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測-

著者 (5件):
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巻: 64  号:ページ: 28-31  発行年: 2016年06月01日 
JST資料番号: F0145A  ISSN: 0451-9396  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本稿では,ダイヤモンド工具刃先形状保証の実現に向けて開発された,レーザー光プローブを用いた迅速オンマシン刃先輪郭形状評価手法(1),および力センサ組込型高速高機能工具サーボ制御(FS-FTC)システムのインプロセス加工力計測機能を活かした高精度オンマシン刃先輪郭形状評価手法(2)の研究例について解説した。評価手法(1)では,光源にLDを用い,レーザー光プローブ光学系をコンパクトに構成することで,オンマシン測定を実現できると共に,光測定レーザー光をビームスプリッタにより分割し,一方を参照用PD(PDR)でモニタすることで,LDから出力したレーザー光の強度揺らぎの影響をキャンセルできると説明した。評価手法(2)では,インプロセス加工力計測機能を用い,測定対象であるダイヤモンド工具により切削創成したパターンを用いることで,特別に高精度な基準を準備することなく,その刃先輪郭形状を高精度にオンマシン評価できると説明した。
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分類 (2件):
分類
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計測機器一般  ,  その他の切削 
タイトルに関連する用語 (12件):
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