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J-GLOBAL ID：201602235828886184   整理番号：16A1324763

超微細導電性Ru-La-O線のレオロジー印刷

Rheology printing of an ultra-fine conductive Ru-La-O line

著者 (6件)： Nagahara Koji (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Hirose Daisuke (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Li Jinwang (Green Devices Research Center, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 2-13 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Mihara Junichi (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Shimoda Tatsuya (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Shimoda Tatsuya (Green Devices Research Center, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), 2-13 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 6  ページ： 7730-7741  発行年： 2016年05月01日 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らはこれまで溶液ベースプロセスを用い高度に導電性のRuO₂膜を製造する方法を開発した。本論文においては,新しく開発したナノレオロジー印刷(n-RP)と名付けた直接インプリントプロセスを通してナノサイズデバイスでの使用のための微細パターンを製造するためのこの材料の更なる開発を記す。このプロセスは,焼結の際の潜在的なパターン破断を避け微細な固体パターンを発生させるインプリンティングプロセスによる前駆体ゲルの微細パターン形成を含む。このパターン破断は典型的に,酸化物材料の結晶化の性質によって生じ,これはサイズが100nm以下まで小さくなるとより顕著になる。この問題を解決するために,Ru-La系の性質を調べ,Ruへの少量のLaの添加が導電性の検知しうる低下無しでゲルの粘性を多大に改善できたことを観察した。このRu-La系は広い組成範囲にわたり非晶質状態も示し,このため,インプリンティングプロセスで作製された微細なゲルパターンが焼結の際に破断に対して抵抗性を持つ。Ru-La系のこれらの特異な性質は,Laゲルの分子結晶特性に起因すると考えられた。これらの結果に基づき,n-RP法は幅30nmと良好な導電性を有するRu_0.75-La_0.25O酸化物の微細な線を成功裏に製造できた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化ルテニウム ,  酸化ランタン ,  印刷 ,  *ナノ構造 ,  前駆体 ,  溶液 ,  粘度 ,  焼結 ,  刷込 ,  導体 ,  *プリント配線 ,  係数 ,  輸送係数 ,  度
準シソーラス用語： *印刷配線

著者キーワード (3件)： Solution-process ,  Direct printing ,  Nanoimprint

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超微細 ,  導電性 ,  Ru ,  LA ,  レオロジー