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J-GLOBAL ID：201602237181827149   整理番号：16A0566851

複素インピーダンスを用いた低濃度酸化性ガスセンサに対する一検討

A Study on Oxidizing Gas Sensor with Low Concentration Using Complex Impedance

著者 (3件)： 堀口拓 (日本大 大学院理工学研究科) ,  佐々木芳樹 (日本大 理工) ,  佐伯勝敏 (日本大 理工)
資料名： 電気学会計測研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： IM-16  号： 23-27  ページ： 25-28  発行年： 2016年06月24日 
JST資料番号： Z0912A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *インピーダンス ,  *濃度 ,  ウエハ【IC】 ,  電極 ,  耐湿性 ,  *二酸化窒素 ,  *二酸化硫黄 ,  選択性 ,  *複素インピーダンス ,  低濃度 ,  シリコンウエハ ,  *ガス濃度
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  櫛形電極 ,  *気体濃度

分類 (1件)： 有害ガス調査測定  (SB03050T)

物質索引 (1件)： 銅フタロシアニン

タイトルに関連する用語 (3件)： 複素インピーダンス ,  低濃度 ,  酸化性ガス