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J-GLOBAL ID:201602239905663505   整理番号:16A0686675

透明材料の超高速レーザ微細加工[招待論文]

[INVITED] Ultrafast laser micro-processing of transparent material
著者 (3件):
資料名:
巻: 78  号: PA  ページ: 52-61  発行年: 2016年04月 
JST資料番号: D0245B  ISSN: 0030-3992  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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透明材料内に超高速レーザパルスを集束すると,局所的で永久的な構造修飾が誘導される。これらの永久的な構造修飾を利用して,透明材料のバルク内に,フォトニックデバイスやマイクロチャネルを三次元に形成できる。材料の局所的な融解や再凝固により同一または異種の材料の間で,結合や溶接が達成される。超高速レーザパルスを利用した透明材料の溶接技術を,ハーメチックシーリングへの応用と共に展望した。透明材料の超高速レーザ微細加工の機構と応用を検討した。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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著者キーワード (3件):
分類 (2件):
分類
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レーザの応用  ,  特殊加工 
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