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J-GLOBAL ID：201602240186828438   整理番号：16A1199193

ターボ翼の微細加工が排気性能に及ぼす影響

著者 (1件)： 矢吹益久 (鶴岡工高専)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.29pm3-PN-15  発行年： 2015年10月21日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ターボ分子ポンプの分子の初期入射位置を調べ,翼の最適形状より流路モデルを作成し,分子流領域における排気特性を解析して,従来の平板翼と比較検討した。結果として,ターボ分子ポンプ内を移動する分子は,吸入側から移動する分子は吸入側下翼手前に多く入射し,一方,吐出側から移動する分子は吐出側の上翼手前に多く入射することがわかった。さらに,吐出側から吸入側へ移動する分子を少なくする為に,初期入射時に分子を吐出側へ反射させる翼形状にすることで性能向上が期待できる結果を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： *分子ポンプ ,  *微細加工 ,  *分子流 ,  *圧縮比 ,  翼形 ,  タービン翼 ,  形態 ,  特性 ,  *排気 ,  モンテカルロ法 ,  吸入 ,  入射 ,  放出
準シソーラス用語： *ターボ分子ポンプ ,  平板翼 ,  最適形状 ,  排気特性 ,  吐出し

分類 (1件)： 真空ポンプ  (QD04030I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 翼 ,  微細加工 ,  排気