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J-GLOBAL ID:201602241095101974   整理番号:16A0690030

改良された高分子酸素および水蒸気バリア特性のためのSiOxおよびSiOxCzHw単層および多層堆積物

SiO x and SiO x C z H w mono- and multi-layer deposits for improved polymer oxygen and water vapor barrier properties
著者 (5件):
資料名:
巻: 500  ページ: 245-254  発行年: 2016年02月15日 
JST資料番号: E0669A  ISSN: 0376-7388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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酸素および水蒸気バリア被覆膜を,高分子多層基板でのプラズマ強化化学気相堆積によって作製した。RFプラズマ源および2つの異なる前駆体(トリメチルシラン(TMS)およびヘキサメチルジシロキサン(HMDSO))の使用により,基板の外部PET層にプラズマ堆積を実現した。それぞれの前駆体について,2種類の単分子層堆積物(SiOxとSiOxCzHw)を研究した。堆積した被覆膜の構造と組成をFTIR分光法とXPS分析によって特性化した。それらの表面トポグラフィーをAFMで画像化し,表面エネルギーを接触角測定結果から決定した。被覆基材の酸素および水のバリア特性を被覆膜の構造と組成に関して解析し,TMSをバリア特性向上のための最も興味深い前駆物質として同定した。熱暴露に対する被覆膜の感度も研究した。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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膜分離 

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