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J-GLOBAL ID：201602241095528280   整理番号：16A0387203

高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究(第1報)-工具摩耗および目詰まりに関する検討-

著者 (3件)： 神雅彦 (日本工大) ,  渡辺健志 (日進工具) ,  金井秀生 (industria)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C04  発行年： 2016年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超硬合金,次世代半導体基板などの高硬度脆性材料に対する加工能率を向上させるための手法として,半径方向に超音波振動する砥石を製作し,同砥石による研磨手法を検討している。本報では,超音波振動電着砥石における工具摩耗状況や目詰り状況などに関して調査した。その結果,超音波振動が,それらに及ぼす影響を明らかにすることができた。(著者抄録)

シソーラス用語： *超音波加工 ,  *ダイヤモンド砥石 ,  *電着 ,  *超硬材料 ,  工具摩耗 ,  閉塞 ,  砥粒 ,  *研磨 ,  加工性試験 ,  *加工性
準シソーラス用語： 電着ダイヤモンド砥石 ,  目詰まり【砥粒】

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  研削・研摩材  (YC06020Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高硬度脆性材料 ,  超音波 ,  研磨加工 ,  基礎的研究 ,  工具摩耗 ,  目詰まり