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J-GLOBAL ID：201602241830414163   整理番号：16A0931028

TCO/Ag/TCO積層透明導電膜の高性能化の検討

著者 (4件)： 中澤弘実 (三菱マテリアル) ,  石井博 (三菱マテリアル) ,  歳森悠人 (三菱マテリアル) ,  斎藤淳 (三菱マテリアル)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.15a-A31-3  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *銀 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  化合物半導体 ,  酸化物 ,  銀合金 ,  *酸化ゲルマニウム ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化ニオブ ,  スペクトル ,  スパッタ蒸着 ,  蒸着膜 ,  透過スペクトル ,  *透明導電性酸化物

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： TCO ,  Ag ,  透明導電膜 ,  高性能化