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J-GLOBAL ID：201602243104817510   整理番号：16A0558507

パルスレーザー堆積装置の立ち上げとレーザーの運転状況

著者 (5件)： 中村惇平 (高エネルギー加速器研究機構 物質構造科研) ,  足立匡 (上智大 理工) ,  寺嶋理人 (上智大 理工) ,  岡部博孝 (高エネルギー加速器研究機構 物質構造科研) ,  門野良典 (高エネルギー加速器研究機構 物質構造科研)
資料名： KEK Proceedings (Web)  (KEK Proceedings (Web))
号： 2016-1  ページ： 57-60 (WEB ONLY)  発行年： 2016年05月 
JST資料番号： U0585A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： KEK物構研ミュオン科学研究系では,上智大学と共同でパルスレーザー堆積法(PLD法)による薄膜作製装置の立ち上げを行っていて,超低速ミュオンビームラインで使用するサンプルの準備を行っている。パルスレーザー堆積法はレーザーアブレーション法とも呼ばれ,物理的気相堆積法(PVD法)の一種である。固体材料ターゲットにパルスレーザーを照射し,ターゲット成分をアブレーション蒸発させた数十eV程度の高速粒子により薄膜が形成される。本件ではNd:YAGレーザーの第三高調波を用いたPLD装置の立ち上げに関して,レーザーの運転と安全・真空・ガス等を中心に報告し,サンプルの作製状況に関しても触れる。(著者抄録)

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  *パルスレーザ ,  レーザアブレーション ,  *Nd-YAGレーザ ,  物理蒸着 ,  ビームライン ,  ターゲット ,  高調波 ,  行政機関 ,  μ粒子 ,  光高調波
準シソーラス用語： KEK ,  第三高調波発生

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスレーザー堆積 ,  立ち上げ ,  レーザー ,  状況