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J-GLOBAL ID：201602244648225272   整理番号：16A0317755

X線干渉リソグラフィービームラインにおける重要な光学素子の構造結合解析【Powered by NICT】

Thermal-structure coupling analysis of key optical elements in X-ray interference lithography beam-line

著者 (2件)： Gong Xuepeng (State Key Lab. of Applied Optics,Changchun Inst. of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sciences ...) ,  Lu Qipeng (State Key Lab. of Applied Optics,Changchun Inst. of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sciences ...)
資料名： Yiqi Yibiao Xuebao  (Yiqi Yibiao Xuebao)
巻： 36  号： 10  ページ： 2347-2354  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2448A  ISSN： 0254-3087  CODEN： YYXUDY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： SSRFでの軟X線干渉リソグラフィー(XIL)ビームラインの安定性を保証し,実験結果は,3種類の主要光学素子偏向鏡の熱結合解析,集束鏡及び精度に及ぼす熱変形の影響を減少させるために4ブレードスリットを行った。最初に,偏向鏡,集束鏡と精度4ブレードスリットに熱パワー密度を計算した;。次にそれらのFEAモデルを確立した;最後に,温度場と光学素子の熱変形が得られた。その結果,偏向鏡と集光ミラーに適用した間接水冷法は熱変形を効果的に抑制できることを示した。最大傾斜誤差は,冷却後に7.2μrad及び9.2μradであった。非冷却状態では,精度4ブレードスリットの翼成分に対する温度は271.56°Cと273.27°Cの間で,翼端の熱変形は約0.19mmであり,リニアガイドの熱変形は約0.08mmである。銅ブレード冷却後,翼要素上での温度は22.24°Cと23.94°Cの間で,翼端の熱変形は約0.2μmで,リニアガイドの熱変形は約0.1μmである。撮像方法およびプローブ接触法で試験し,真直度,並列度,スリットのブレード端の再現性は全て技術的要求を満たす。偏向鏡,集束鏡と精度4ブレードスリットの熱的変形を,間接水冷法と銅ブレード冷却法を用いて大いに抑制されると,光スポットの品質は保証されている。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学スリット ,  水冷 ,  軟X線 ,  撮像 ,  再現性 ,  偏向 ,  温度場 ,  *光学素子 ,  集束 ,  *X線 ,  真直度 ,  集光 ,  銅 ,  熱変形 ,  *ビームライン

分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： X線 ,  干渉リソグラフィー ,  ビームライン ,  光学素子 ,  結合解析