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J-GLOBAL ID：201602245688336783   整理番号：16A0794621

CU(IN,GA)SE_2薄膜の表面分析を正確に測定の国際キー比較組成【JST・京大機械翻訳】

International Key Comparison:Surface Analysis Measurement of Composition for Cu (In, Ga) Se2 Films

著者 (6件)： Wang Meiling (National Institute of Metrology) ,  Wang Hai (National Institute of Metrology) ,  Gao Sitian (National Institute of Metrology) ,  Ma Yibo (College of Chemical Engineering, China University of Petroleum(Beijing)) ,  Fan Yan (College of Chemical Engineering, China University of Petroleum(Beijing)) ,  Song Xiaoping (National Institute of Metrology)
資料名： Fenxi Ceshi Xuebao  (Fenxi Ceshi Xuebao)
巻： 34  号： 12  ページ： 1408-1413  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2395A  ISSN： 1004-4957  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 中国計量科学研究院が参加して国際キー比較K129,X線光電子分光法(XPS)を用いて測定した薄膜太陽電池材料(CIGS)薄膜の組成と深さでの組成分布の有効な方法を確立した。適切な条件を採用し,CIGS薄膜に対して深さプロファイリングを行い,それから提案した一組の深さ解析XPSデータ処理方法(全計数法と相対感度因子法)を改善し,薄膜組成に対して正確な測定を行った。結果は,この方法の測定再現性は良好で,いずれも5回の測定の相対標準偏差(RSD)は2%未満であり,測定し拡張不確実性4%,その他の国計量院の結果と等価の一致を達成することを示した。比較では,感度の異なる因子の由来(参考試料により、3つの機器データベースの供給源の獲得)CIGS薄膜組成測定結果の影響を研究した,結果は機器メーカーのデータベースに自己修正の感度因子は参照試料に最も近い,を示した。よくCIGS薄膜に対して原子の含有量の測定を行うことができる。この方法は,薄膜太陽電池の材料開発と産業化のために参考根拠を提供することが表面分析装置の深さ,薄膜試料を分析した時の薄膜の成分を定量的に計算し,測定する薄膜成分の精度を向上させるために広めることができる。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線光電子分光法 ,  深さプロフィル ,  *表面分析 ,  不確実性 ,  工業化 ,  計数法 ,  データベース ,  再現性 ,  生産者 ,  *薄膜
準シソーラス用語： 材料開発 ,  相対標準偏差 ,  セレン化ガリウムインジウム銅 ,  薄膜太陽電池 ,  科学研究 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： CIGS film ,  surface analysis ,  depth profile ,  X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) ,  international key comparison

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： Cu ,  Ga ,  薄膜 ,  表面分析 ,  キー ,  組成