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J-GLOBAL ID：201602246167218127   整理番号：16A0859263

PARYLENE膜が半導体レーザの性能に及ぼす影響を【JST・京大機械翻訳】

Effects of the Parylene Film on the Semiconductor Laser Performance

著者 (6件)： Jing Hongqi (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science) ,  Zhao Yihao (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science) ,  Wu Xia (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science) ,  Wang Xin (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science) ,  Liu Suping (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science) ,  Ma Xiaoyu (National Engineering Research Center for Optoelectronic Devices, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Science)
資料名： Bandaoti Jishu  (Bandaoti Jishu)
巻： 41  号： 3  ページ： 204-209  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2378A  ISSN： 1003-353X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 湿った半導体レーザへの危害を解決するために,半導体レーザのための新しい保護膜を調製した堆積プロセスの真空蒸着を用いて,パリレン(PARYLENE)-被覆を塗布である。PARYLENE型NとCの型の膜品質に及ぼすプロセス条件の影響を検討した。それぞれ、紫外分光光度計測試膜のエリプソメータ吸収係数と反射係数を用いて,PARYLENE薄膜を半導体レーザに対しては出力性能の影響を研究した。808NM半導体レーザに被覆厚さは1.65ΜMのPARYLENE膜であったが,24Hの湿熱と塩霧環境実験結果はは,半導体レーザの性能が未被覆PARYLENE膜の半導体レーザの性能は優れていることを示した。PARYLENE膜は,半導体レーザに対して良い保護作用を果たす,キャビティ面基本済良く,半導体レーザの安定性と信頼性が向上した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 信頼性 ,  光度 ,  反射率 ,  被覆 ,  *半導体レーザ ,  薄膜 ,  品質 ,  エリプソメータ ,  保護膜 ,  保護作用 ,  スペクトロスコピー ,  吸収係数 ,  真空蒸着

著者キーワード (5件)： parylene ,  laser ,  optical power ,  moisture ,  reliability

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (2件)： Parylene ,  半導体レーザ