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J-GLOBAL ID：201602247703936245   整理番号：16A1232931

193NM ARF エキシマレーザアブレーションシステムの高空間分解能における元素分別研究【JST・京大機械翻訳】

Elemental Fractionation Studies of 193 nm ArF Excimer Laser Ablation System at High Space Resolution Mode

著者 (4件)： Wu Shitou (National Research Center for Geoanalysis) ,  Wang Yaping (National Research Center for Geoanalysis) ,  Xu Chunxue (National Research Center for Geoanalysis) ,  Yuan Jihai (National Research Center for Geoanalysis)
資料名： Fenxi Huaxue  (Fenxi Huaxue)
巻： 44  号： 7  ページ： 1035-1041  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2394A  ISSN： 0253-3820  CODEN： FHHHDT  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 193NM ARFエキシマレーザアブレーションシステムの高空間分解能における機器の検出限界、ICP質量負荷元素の分別、侵食深度/ビーム直径の元素分別及びマトリックス効果を研究した。また,10ΜMのビーム直径で,GSD-1G,STHS6/80-G及びNIST612中の微量元素を分析した。結果は,検出器の直径が7ΜMまで減少したとき,検出器の検出限界は1~10ΜG/Gであることを示した。ICP質量負荷元素の分別指数は元素の第一イオン化エネルギーと正相関し,元素酸化物の融点と負の相関があった。侵食深さと直径比が1:1以下の場合,侵食深さ/直径比による元素分別効果は無視できる。マトリックス効果の研究によると,50ΜMと10ΜMのレーザビームの間には明らかな差がなかった。NIST610をキャリブレーション物質とし、CAを内部標準元素とし、10ΜM ビーム直径下でのGSD-1G、STHS6/80-GとNIST612中の36種類の微量元素の分析結果は固定値と基本的に一致し、分析結果は固定値とほぼ一致した。10ΜMの空間分解能を考慮すると,この技術は微量元素の正確な分析の要求を満たすことができる。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： レーザビーム ,  マトリックス効果 ,  順相 ,  微量元素 ,  酸化物 ,  検出限界 ,  *空間分解能 ,  検出器 ,  融点 ,  浸食 ,  イオン化ポテンシャル
準シソーラス用語： 内部標準物質 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Laser ablation-inductively coupled plasma-mass spectrometry ,  ArF excimer laser ,  Elemental fractionation ,  Matrix effect ,  Spatial resolution

分類 (2件)： 質量分析  (CC03013N) ,  無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H)

タイトルに関連する用語 (5件)： ARF ,  高空間分解能 ,  元素 ,  分別 ,  研究