抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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現在の弾性表面波(SAW)共振子において,横方向へのエネルギーの漏れは共振特性を劣化させる主因の一つと考えられている。本稿では,クレーデインク構造中のSAWの横方向伝搬を特徴づける手段として“縦共振条件”の利用を提案した。その提案に基づき,まず筆者らが提案している板波モデルの概要を紹介し,それを利用してSAWの逆速度面がブラッグ反射によりどのように変形するかを示した。次に,縦共振条件を利用して,横方向の波数の駆動周波数ω依存性を閉じた式で表現した。次いで,Alクレーデインク/128°YX-LiNbO
3(128-LN)基板構造について,横方向の波数のω依存性を計算した。そして,その結果と上述の閉じた式とのフィットにより,その有効性を検証した。検証の結果,本モデル化手法の有効性が確認されたと述べた。