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J-GLOBAL ID：201602254142850638   整理番号：16A0387141

スロットダイコーターの精密計測に関する研究-第2報 マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築-

著者 (9件)： 菊地浩貴 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  陳遠流 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  GAO Wei (東北大) ,  高橋和彦 (MMCリョウテック) ,  金山利彦 (MMCリョウテック) ,  荒川訓明 (MMCリョウテック) ,  林敦 (MMCリョウテック)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A15  発行年： 2016年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では試料表面に存在する水膜層検出型マイクロプローブを用いて,幅100um未満のマイクロスリット溝幅を有するスロットダイコーターの精密寸法計測に取り組んでいる。前報では,マイクロプローブにより溝幅を測定不確かさ100nm未満で測定が可能であることを明らかにした。本報では,座標測定機のアライメントを精密に調整し,スロットダイ全長に渡る溝幅測定の不確かさ評価を行ったので,その結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *精密測定 ,  *ナノ構造 ,  *間隙 ,  *マイクロプローブ ,  *計測システム ,  システム設計 ,  製造 ,  薄膜
準シソーラス用語： 薄膜作製

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： スロット ,  ダイコーター ,  精密計測 ,  研究 ,  マイクロプローブ ,  溝幅 ,  分布 ,  測定システム ,  構築