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J-GLOBAL ID：201602257509985798   整理番号：16A0330054

電子照射によるPMMA試料の電荷と放電の特性【Powered by NICT】

Characteristics of charge and discharge of PMMA samples due to electron irradiation

著者 (4件)： Feng Guobao (Dep. of Electronic Sci. and Technol., Xi’an Jiaotong Univ. Key Lab. for Physical Electronics and Devices of the ...) ,  Wang Fang (Dep. of Electronic Sci. and Technol., Xi’an Jiaotong Univ. Key Lab. for Physical Electronics and Devices of the ...) ,  Hu Tiancun (National Key Lab. of Sci. and Technol. on Space Microwave National Key Lab. of Sci. and Technol. on Space Microwave ...) ,  Cao Meng (Dep. of Electronic Sci. and Technol., Xi’an Jiaotong Univ. Key Lab. for Physical Electronics and Devices of the ...)
資料名： Chinese Physics B  (Chinese Physics B)
巻： 24  号： 11  ページ： 117901-1-117901-7  発行年： 2015年 
JST資料番号： W1539A  ISSN： 1674-1056  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,充電と放電過程の包括的な数値シミュレーションを用いて,収束電子ビームを照射した接地したPMMA膜の負電荷と放電特性の形成と発展を調べた。試料における電子散乱過程と輸送過程をモンテカルロ法と有限差分時間領域(FDTD)法をそれぞれシミュレートした。充電と放電過程の性質は内部電流,電荷量,表面電位,及び放電時間の進化により提示した。試料中の内部電荷蓄積は主電子(PE)照射は充電時間が十分に提供することにより飽和に達する可能性がある。内部自由電子は電荷拡散による漏れ電流の形での地上への流出と照射後放電プロセス中にドリフトするが,トラップされた電子は残っている。帯電量により決定された負の表面電位は,充電プロセス中の飽和に低下し,次に放電過程で増加した。PMMA膜の厚みの増加は電荷飽和の大きな電荷量と表面電位及び最終放出状態をもたらす一方,材料の電子移動度は,最終的な放電状態にほとんど影響を及ぼさなかった。さらに,放電時間は厚さがより小さいまたは大きい電子移動度のためである。提示した結果は,特に関連する表面解析や測定における間欠的電子ビーム照射下の絶縁性試料の帯電を弱めるのに有用である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 漏れ電流 ,  電子ビーム ,  表面電位 ,  *放電 ,  帯電 ,  モンテカルロ法 ,  充電 ,  電気絶縁 ,  *電子照射 ,  *電荷 ,  電子散乱 ,  *ポリメタクリル酸メチル
準シソーラス用語： 電子移動度 ,  時間領域 ,  数値シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子照射 ,  PMMA ,  試料 ,  電荷 ,  放電