文献

J-GLOBAL ID：201602258351704132   整理番号：16A0837152

パルス化DC反応マグネトロンスパッター蒸着で成長された酸化クロム酸の結合構造と形態

Bonding structure and morphology of chromium oxide films grown by pulsed-DC reactive magnetron sputter deposition

著者 (4件)： Gago R. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, E-28049 Madrid, Spain) ,  Vinnichenko M. (Fraunhofer-Institut fuer Keramische Technologien und Systeme IKTS, D-01277 Dresden, Germany) ,  Huebner R. (Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf, Institute of Ion Beam Physics and Materials Research, Bautzner Landstrasse 400, 01328 Dresden, Germany) ,  Redondo-Cubero A. (Departamento de Fisica Aplicada and Centro de Microanalisis de Materiales, Universidad Autonoma de Madrid, E-28049 Madrid, Spain)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 672  ページ： 529-535  発行年： 2016年07月05日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化クロム(CrO_x)薄膜をAr/O₂放電中でガス混合物中のO₂の割合(f)の関数として最大450°Cの基材温度t_sでパルス化DC反応マグネトロンスパッター蒸着で育成した。試料をRutherford後方散乱分光(RBS),分光エリプソメトリー(SE),原子間力顕微鏡(AFM),(SEM),走査電子顕微鏡(SEM),透過電子顕微鏡(TEM),X線回折(XRD),およびX線近吸収端構造(XANES)によって分析した,加熱しない基材の上ではfの増加で,成長速度は大きくなり,O/Cr比(x)が~2から~2.5まで上昇した。逆に,T_sを増加すると原子導入速度が低下し,xは~1.8に落下した。XRDによると加熱しない基材に育成した試料は無定形で,T_sを増加するとナノ結晶質のCr₂O₃(x=1.5)が形成された。無定形のCrO_x中ではXANESによって多重のCr環境の存在が明らかにされた。これは混合原子価の酸化物の成長を示している。fの増加とともに六価状態の連続的な促進が認められた。XANESのデータで高いT_sでは単相のナノ結晶質のCr₂O₃の形成も確認された。これらの構造変化は膜の光学特性や形態特性にも反映された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化クロム ,  *蒸着膜 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *構造 ,  *結合 ,  *形態 ,  ウエハ【IC】 ,  アルゴン ,  酸素 ,  混合気体 ,  濃度 ,  Rutherford後方散乱 ,  偏光解析法 ,  XANES ,  成長速度 ,  薄膜成長 ,  コバルト ,  比率 ,  基板温度 ,  非晶質 ,  ナノ結晶 ,  結晶化 ,  混合原子価 ,  酸化物 ,  変化 ,  光学的性質 ,  構造特性 ,  膜厚 ,  表面粗さ ,  密度 ,  構造変化 ,  酸素濃度 ,  *反応性マグネトロンスパッタリング ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  *結合構造 ,  分光エリプソメトリ

著者キーワード (4件)： Oxide materials ,  Vapour deposition ,  Atomic scale structure ,  NEXAFS/XANES

分類 (2件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： パルス化 ,  DC ,  マグネトロンスパッター ,  蒸着 ,  成長 ,  酸化 ,  クロム酸 ,  形態