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J-GLOBAL ID：201602259131349165   整理番号：16A1116718

TOF-SNMSによるヘリウム同位体の高空間分解能イメージング

High spatial resolution imaging of helium isotope by TOF-SNMS

著者 (9件)： Bajo Ken-ichi (Department of Earth and Planetary Sciences, Hokkaido University, Sapporo, 060-0810, Japan. [e-mail]) ,  Itose Satoru (JEOL Ltd., Akishima, 196-8558, Japan) ,  Matsuya Miyuki (JEOL Ltd., Akishima, 196-8558, Japan) ,  Ishihara Morio (Department of Physics, Osaka University, Toyonaka, 560-0043, Japan) ,  Uchino Kiichiro (Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga, 816-8580, Japan) ,  Kudo Masato (JEOL Ltd., Akishima, 196-8558, Japan) ,  Sakaguchi Isao (National Institute for Materials Science, Tsukuba, 305-0044, Japan) ,  Yurimoto Hisayoshi (Department of Earth and Planetary Sciences, Hokkaido University, Sapporo, 060-0810, Japan) ,  Yurimoto Hisayoshi (Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency, Sagamihara, 252-5210, Japan)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 48  号： 11  ページ： 1190-1193  発行年： 2016年11月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザーイオン化質量ナノスコープは,トンネル効果によるレーザーポストイオン化に関連する飛行時間型スパッタ中性質量分析計である。一次イオンカラムには,球面および色収差補正器を設置する。Heイオン注入Si基板のクレータエッジのスロープから,直径90nmのプローブを用いて画像を走査することにより,固体表面のHeイメージングの横方向空間分解能を評価した。走査画像からのヘリウム分布は,同じ基板の表面からの深さプロファイリング分析と定量的に同等であり,一次ビームの斜入射効果の使用により,He走査画像上で深さ分解能に関して20nmの空間分解能を達成したことを示す。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 二次イオン質量分析 ,  ヘリウム ,  イオン化 ,  *ヘリウム同位体 ,  *質量分析 ,  *画像処理
準シソーラス用語： TOF-SIMS ,  トンネルイオン化 ,  *レーザイオン化質量ナノスコープ ,  *質量分析イメージング

著者キーワード (4件)： TOF-SNMS ,  isotope imaging ,  helium ,  tunneling ionization

分類 (2件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (5件)： TOF ,  SNMS ,  ヘリウム同位体 ,  高空間分解能 ,  イメージング