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J-GLOBAL ID：201602261726294559   整理番号：16A0865099

エアロゾル型ナノ粒子析出により作成したナノ粒子BaTiO₃薄膜

Nanoparticulate BaTiO3 film produced by aerosol-type nanoparticle deposition

著者 (5件)： Imanaka Yoshihiko (Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa, Japan) ,  Amada Hideyuki (Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa, Japan) ,  Kumasaka Fumiaki (Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa, Japan) ,  Awaji Naoki (Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi, Kanagawa, Japan) ,  Kumamoto Akihito (Institute of Engineering Innovation School of Engineering, The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名： Journal of Nanoparticle Research  (Journal of Nanoparticle Research)
巻： 18  号： 4  ページ： Article:102,1-9  発行年： 2016年04月 
JST資料番号： W1361A  ISSN： 1388-0764  CODEN： JNARFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エアロゾル型ナノ粒子析出(NPD)は,室温でノズルを通じてセラミック粒子を析出させることにより基板表面上に精細なナノスケール構造を持つ密な電気セラミック膜を作成するための魅惑的な方法である。この膜は,様々な電気的,環境的,および,エネルギー素子に適用する潜在的可能性を持っている。しかしながら,析出機構と膜内のナノ構造は十分には解明されていない。本研究は,チタン酸バリウム(BaTiO₃)を用いた直径200nmと50nmを持つ粒子からなるNPD無垢膜,熱処理膜,および,原料粉末の結晶構造を調べることを目的とした。BaTiO₃内のBa変位による無秩序相を持つBaTiO₃内の結晶が,基板および約10nmの直径を持つBaTiO₃結晶性粒子間の接着の原因であることを見いだした。Copyright 2016 Springer Science+Business Media Dordrecht Translated into Japanese from English by JST.

シソーラス用語： エアロゾル ,  *ナノ粒子 ,  *チタン酸バリウム ,  酸化物 ,  薄膜 ,  *析出 ,  ナノ構造 ,  セラミック膜 ,  結晶構造 ,  結晶成長 ,  電子技術
準シソーラス用語： エアロゾル粒子 ,  酸化物薄膜 ,  低温成長 ,  フレキシブルエレクトロニクス

著者キーワード (5件)： Nanoparticle ,  Low-temperature Process ,  Electronic Ceramics ,  Flexible Electronics ,  Ceramic Film

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： エアロゾル ,  ナノ粒子 ,  析出 ,  BaTiO3 ,  薄膜