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文献
J-GLOBAL ID:201602263856800147   整理番号:16A1280173

マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究

著者 (9件):
資料名:
巻: 2016  ページ: ROMBUNNO.S1330102  発行年: 2016年09月10日 
JST資料番号: X0587C  ISSN: 2424-2667  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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本研究では,高感度マイクロプローブと長ストローク精密位置決めシステムより構成された高精度マイクロ溝幅測定ステムを開発し,精密塗布工具であるスロットダイコーターのマイクロスリット溝幅測定を行った。測定システム上に設置した校正済みブロックゲージを用いたプローブ先端球直径の評価とスロットダイコーターの溝幅測定を連続して行うその場校正法を提案し,ナノメートルオーダーの溝幅測定精度が実現できることが確認された。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
塗料の性質  ,  その他への塗装,各種塗装法 

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