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J-GLOBAL ID：201602264005532586   整理番号：16A0434668

はんだ付けが可能なフレキシブル電極を製作する簡単な製作方法

Simple Fabrication Method to Produce Flexible Electrode Capable of Soldering

著者 (4件)： TOYAMA Shigeru (National Rehabilitation Center for Persons with Disabilities, Saitama, JPN) ,  TANAKA Yasuhiro (National Rehabilitation Center for Persons with Disabilities, Saitama, JPN) ,  ISHIKAWA Yurie (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  HARA Kazuhiro (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 28  号： 4  ページ： 279-288  発行年： 2016年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者等は,はんだ付けが可能なカスタム化フレキシブル電極を製作する簡単な方法を開発した。この方法はわずかな製作ステップで構成している。最初のステップは,耐熱性プラスチックフィルム上に電極の逆パターンをレーザプリンティングする。第二のステップは,フィルム上にNi-Agのような多層金属を形成する電子ビーム蒸着である。第三のステップは,一種のリフトオフプロセスで,有機溶媒中にフィルムを浸漬した後,超音波処理により下のトナーと共に不必要な金属を除去する。完全な洗浄後,筆者等は必要なパターン形成した電極フィルムを得ることができた。この方法で幾つかのフィルム電極を製作した。その結果,幾つかの電極をベースフィルム上に密に接着し,金属層の組合せを注意深く選ぶことによりはんだ付けに耐えた。これらの電極の電気伝導率はバルク金属電気伝導率から推定して期待値より低かったが,この方法は小さい電極の開発に使用できる。今回,筆者等は表面にAg,AuやPtのような幾つかの金属で電極を製作した。これらはセンサ電極として有用であるだけでなく,電極パッドとしても有用である。この方法はまた研究所スケールでセンサを開発するのに有用である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： はんだ付 ,  装置 ,  部材 ,  部品 ,  *フレキシブル基板 ,  耐熱性高分子 ,  プラスチック ,  レーザ加工 ,  *電子ビーム蒸着 ,  処理 ,  超音波 ,  微細加工 ,  電極 ,  *パターン形成 ,  耐熱性プラスチック ,  ソニケーション
準シソーラス用語： フレキシブルデバイス ,  リフトオフ ,  超音波処理

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• D.-H. Kim, R. Ghaffari, N. Lu, and J. A. Rogers: Annu. Rev. Biomed. Eng. 14 (2012) 113.
• C. Pang, C. Lee, and K.-Y. Suh: J. Appl. Polym. Sci. 130 (2013) 1429.
• S. Stassi, V. Cauda, G. Canavese, and C. F. Pirri: Sensors 14 (2014) 5296.
• M. Stoppa and A. Chiolerio: Sensors 14 (2014) 11957.
• M. Singh, H. M. Haverinen, P. Dhagat, and G. E. Jabbour: Adv. Mater. 22 (2010) 673.

タイトルに関連する用語 (3件)： はんだ付け ,  フレキシブル電極 ,  製作