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J-GLOBAL ID：201602265402270700   整理番号：16A1356671

AlN TiB_2TiSi_2複合皮膜の構造相状態と特性【Powered by NICT】

Structural-phase state and properties of AlN-TiB₂-TiSi₂ composite coatings

著者 (7件)： Pogrebnjak A. D. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Takeda Y. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Demianenko A. O. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Belovol K. O. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Ugues D. (Politecnico di Torino, Corso Duca degli Abruzzi 24, Torino, Italy) ,  Bassini E. (Politecnico di Torino, Corso Duca degli Abruzzi 24, Torino, Italy) ,  Calandri M. (Politecnico di Torino, Corso Duca degli Abruzzi 24, Torino, Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： NAP  ページ： 01NTF21-1-01NTF21-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 負イオンのビームを使用済み述べたAuおよびX線非晶質AlN TiB_2TiSi_2の再結晶構造の高温アニーリング,秩序化0 8~1nm付近の領域の典型的な寸法を行った。高分解能透過型電子顕微鏡,X線回折,走査電子顕微鏡とX線微量分析の測定の直接法を実証し,空気中1300°Cでの熱アニーリングは,弾道イオン混合と衝突カスケードによる深さ(表面層)被覆の非晶質酸化物膜の生成及びサイズ数nmのAu「ボール」形状からナノ結晶の形成と2~5nmナノ粒子までのサイズの10~15nmのAlN,AlB_2,Al_2O_3とTiO_2,イオン注入フラグメンテーション(減少)へのAuリード負イオンのナノスケール相の形成につながることがある。研究は材料科学,筑波,日本,イタリア,Politecnicodi Torino研究所と共同で行った。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 焼なまし ,  ナノ粒子 ,  微量分析 ,  材料科学 ,  アニオン ,  イオン注入 ,  結晶構造 ,  金 ,  *窒化アルミニウム ,  ナノ結晶 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線 ,  表層
準シソーラス用語： ナノスケール ,  HRTEM , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 信号理論  (ND02020G) ,  パターン認識  (JE07000S) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： AlN ,  複合皮膜