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J-GLOBAL ID：201602265540499258   整理番号：16A0735602

三次元有限要素モデルのマイクロボロメーターカロリーメーターTCRおよび電気的性能の研究に基づく【JST・京大機械翻訳】

Research on TCR and Electrical Characteristics of Microbolometer Based on 3DFinite Element Analysis Model

著者 (4件)： Chen Chao (State Key Lab.of Electronic Thin Films and Integrated Devices,School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Ma Jiafeng (State Key Lab.of Electronic Thin Films and Integrated Devices,School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Jiang Yadong (State Key Lab.of Electronic Thin Films and Integrated Devices,School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Wang Tao (State Key Lab.of Electronic Thin Films and Integrated Devices,School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China)
資料名： Bandaoti Guangdian  (Bandaoti Guangdian)
巻： 36  号： 6  ページ： 895-900  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2379A  ISSN： 1001-5868  CODEN： BAGUE5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロボロメーター熱量計構造の抵抗温度係数(TCR)およびその抵抗値は非冷却赤外線焦点平面検出器の性能に対して大きな影響がある。そして,精確に基づくマイクロ3次元モデルはボロメータ,熱電対要素方法を採用し,その電気的特性を分析し,これによりして,異なる温度の下での構造の抵抗を取得にモデルを確立して,0.5~10ΜAの直流バイアス電流を負荷に従って,各バイアス下の温度および電位と対応する特性を得たさらに一定温度内全体のモデルのTCRを演繹し,従って後端読出し回路の設計のために提供した。最後に,実際に調製したデバイスに対してテストを行い,この方法の信頼性を検証した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電位 ,  直流 ,  *ボロメータ ,  赤外線 ,  信頼性 ,  熱電対 ,  バイアス ,  電気的性質 ,  三次元モデル
準シソーラス用語： 読出回路 ,  バイアス電流 ,  抵抗温度係数 ,  *マイクロボロメータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： micorobolometer ,  finite element analysis ,  TCR ,  thermoelectricity fieldcoupling ,  electrical characteristics

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (3件)： 三次元有限要素モデル ,  TCR ,  研究