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J-GLOBAL ID：201602266799079749   整理番号：16A0639930

バースト波アンダーサンプリング回路の開発とボールSAW微量水分計への適用

著者 (1件)： 辻俊宏 (東北大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 28  号： 4  ページ： 71-75  発行年： 2016年08月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体デバイスの歩留まりおよび信頼性を向上させるには,プロセスに用いられる高純度ガス中の1ppmv以下の微量水分を計測して制御する必要がある。著者らは,球上で多重周回するSAW(弾性球面波)を利用して感度を著しく向上させたボールSAWセンサを開発した。しかし,温度補償に必要な周波数測定において,高速なアナログデジタル変換器や2系統のヘテロダイン回路が必要で,装置コストが実用化を妨げていた。そこで,本稿は,アンダーサンプリング(US)の理論に基づきバースト波アンダーサンプリング(BUS)回路を開発し,同回路をボールSAW微量水分計(TMA)に適用した結果について解説した。試作したTMAは,従来の微量水分計測装置・CRDSとほぼ同じ濃度が出力されることを示した。また,TMAの応答時間はCRDSの約半分であり,霜点-80°Cを1分以内に測定できると説明した。

シソーラス用語： *パルス波 ,  信号標本化 ,  *弾性表面波 ,  *水分計 ,  *半導体素子 ,  歩留り ,  信頼性 ,  *球 ,  *温度補償 ,  周波数測定 ,  AD変換器 ,  信号処理 ,  原価 ,  応答時間 ,  圧電材料
準シソーラス用語： SAW【表面波】 ,  *SAWセンサ ,  *アンダーサンプリング ,  *バースト波 ,  ヘテロダイン ,  高純度

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (6件)： バースト波 ,  サンプリング回路 ,  開発 ,  ボール ,  SAW ,  水分計