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J-GLOBAL ID：201602269050480149   整理番号：16A0318610

線形イオン源によるガラス基板の表面改質【Powered by NICT】

Surface Modification of Glass Substrate by Linear Ion Source

著者 (2件)： Sun Yao (China Building Materials Acad., National Res. Center for Glass Processing, State Key Lab. for Green Building ...) ,  Wang Hong (China Building Materials Acad., National Res. Center for Glass Processing, State Key Lab. for Green Building ...)
資料名： Guisuanyan Xuebao  (Guisuanyan Xuebao)
巻： 43  号： 11  ページ： 1561-1566  発行年： 2015年 
JST資料番号： W1454A  ISSN： 0454-5648  CODEN： KSYHA5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ガラス基板は,アノード層線形イオン源を用いた解離アルゴンと酸素を予備洗浄した。イオンビーム処理前後のgガラス表面の変化を解析し,ガラスの表面改質に及ぼすガス種と出力電圧の影響を調べた。結果は,イオンビーム処理はガラス表面上のエッチング効果を有することを示した。Oイオンビームのエッチング速度はArイオンビームのそれより低く,出力電圧が増加するときに大きくなった。偏光解析法の結果は,ガラスのBrewster角が大きくなると表面屈折率の増加のために,イオンビーム処理,モデリング解析によるとイオンビームによる光学的に厚い媒質の存在から生じる後Brewster角付近での楕円偏光スペクトルを変化させることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 偏光解析法 ,  アルゴン ,  偏光角 ,  酸素 ,  エッチング ,  *表面改質 ,  屈折率 ,  イオンビーム ,  *線形性 ,  アノード ,  モデリング ,  *ガラス ,  *イオン源
準シソーラス用語： 出力電圧 ,  *ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 線形 ,  イオン源 ,  ガラス基板 ,  表面改質