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J-GLOBAL ID：201602272076166523   整理番号：16A0973871

高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置-非接触変位センサを用いた零位法装置の開発と基礎評価-

著者 (3件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E66  発行年： 2016年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線ナノ集光ミラー等の数m級の小さな曲率半径や,±5mrad以上の大きなスロープ分布を有する高精度非球面に対して1nmRMS以下の形状計測再現性を目標とする。このため非接触変位センサを用いた零位法に基づくプローブ走査式表面形状計測装置を開発した。本装置により100mm長の平面ミラーを0.1mm間隔で測定した結果,1ラインあたり15分の測定で,再現性4.3nmRMSを達成した。(著者抄録)

シソーラス用語： *非球面鏡 ,  *形状測定 ,  *表面 ,  *X線反射 ,  *反射鏡 ,  集光 ,  非接触測定 ,  センサ ,  色収差 ,  収差補正 ,  X線自由電子レーザ ,  放射光施設
準シソーラス用語： 表面形状測定 ,  変位センサ ,  SACLA【レーザ】

分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (10件)： 非球面 ,  ミラー ,  プローブ ,  走査式 ,  形状計測装置 ,  非接触 ,  変位センサ ,  開発 ,  基礎 ,  評価