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J-GLOBAL ID：201602274775025769   整理番号：16A0064620

キャピラリー放電における3プラズマからの結合極端紫外光源に及ぼすレーザの影響【Powered by NICT】

Impact of Laser on Coupled Extreme Ultraviolet Source from Three Plasmas in Capillary Discharge

著者 (2件)： Zhang Xingqiang (School of Sci., Hubei Univ. of Automotive Technol., Hubei, Shiyan) ,  Jin Long (School of Sci., Hubei Univ. of Automotive Technol., Hubei, Shiyan)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 42  号： 6  ページ： 0602009-01-0602009-07  発行年： 2015年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 13.5nmの波長を持つハーネス極端紫外(EUV)光源は30nmの技術ノードを介して容易に破壊できること,極端紫外リソグラフィー(EUVL)技術は,大規模な工業生産を実現した。プラズマのEUV放射パワーに電力を直接変換することをキャピラリー放電はエネルギーの高い変換効率を示した。3プラズマが受けるLorentz力によるレーザ生成プラズマ(LPP)の熱膨張の相互作用を利用することにより,毛管放電における3プラズマから結合したEUV光源は,EUV放射の大きい領域を形成する。したがって,本法は,リソグラフィー製造にとって有利なEUV利用の必要性の前提下での毛細管放電の繰返し速度を大きく低減する。レーザによる3対電極の放電の同期発火の同時放電を実現するのに基づいて,結合したソースへのレーザの影響を考察した。位置結合は極端紫外光源におけるようには影響を及ぼさないことを実験から見いだしLPPによって引き起こされた動的な結合が徐々に解決すべき問題に重要なことである。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *光源 ,  放射電力 ,  波長 ,  Lorentz力 ,  リソグラフィー ,  *プラズマ ,  電力 ,  *放電 ,  レーザプラズマ ,  *極端紫外線 ,  熱膨張 ,  工業生産 ,  *レーザ
準シソーラス用語： 繰返し速度 ,  変換効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (4件)： キャピラリー放電 ,  プラズマ ,  極端紫外光源 ,  レーザ