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J-GLOBAL ID：201602274797759111   整理番号：16A0326476

アークイオンめっきによるTiNナノ複合膜の性質に対する軸対称磁場の影響【Powered by NICT】

Influence of Axisymmetric Magnetic Field on Properties of TiN-Cu Nanocomposite Films Prepared by Arc Ion Plating

著者 (4件)： Song Guihong (School of Material Sci. and Technol., Shenyang Univ. of Technol., Shenyang) ,  Xiao Jinquan (Div. of surface engineering of materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang) ,  Du Hao (Div. of surface engineering of materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang) ,  Chen Lijia (School of Material Sci. and Technol., Shenyang Univ. of Technol., Shenyang)
資料名： Cailiao Yanjiu Xuebao  (Cailiao Yanjiu Xuebao)
巻： 29  号： 10  ページ： 787-793  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0603A  ISSN： 1005-3093  CODEN： CYXUEV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： すずCuナノ複合材料膜は,ターゲットの後方での軸対称コイル磁場をアークイオンプレーティングにより高速度鋼上に堆積した。標的表面上の陰極スポットとアーク柱形状の移動速度と同様に,堆積物の表面モルフォロジー,堆積速度,ナノインデンテーション硬度と弾性率に及ぼすコイルの磁場強度の影響を調べた。ターゲット上の溶融金属液滴の発光確率が減少すると,堆積した膜中の巨大粒子のサイズと量は増加コイル磁場強度を減少させることが分かった。堆積膜は,単に金属Cu相またはCu化合物無しのTiN相から成る,(111)面に沿って明確な優先方位を有していた。膜の蒸着速度,押込硬さと弾性率は最大値まで急速に増加すると増加し,次にコイル磁場強度と共に僅かに減少した。硬さと弾性率の最大値は35.46GPaと487.61GPaであった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 堆積速度 ,  インダクタ ,  堆積 ,  押込硬さ ,  溶融金属 ,  *軸対称性 ,  銅 ,  硬度 ,  *磁場 ,  優先配向 ,  弾性係数
準シソーラス用語： 磁場強度 ,  表面形態 ,  *窒化チタン ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： アークイオンめっき ,  TiN ,  ナノ複合膜 ,  性質 ,  軸対称 ,  磁場