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J-GLOBAL ID：201602275001865325   整理番号：16A0841198

優先配向を有するダイヤモンド膜を作製する周期的磁場支援化学蒸着

A periodic magnetic field assisted chemical vapor deposition technique to fabricate diamond film with preferred orientation

著者 (13件)： Wang Yijia (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wang Yijia (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Li Jiaxin (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Long Hangyu (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Long Hangyu (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Luo Hao (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Zhou Bo (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Xie Youneng (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Li Shasha (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wei Qiuping (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wei Qiuping (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Yu Zhiming (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Yu Zhiming (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 292  ページ： 49-53  発行年： 2016年04月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 配向を有する微結晶ダイヤモンド膜を,周期的磁場支援熱フィラメント化学蒸着システム(PMF-HFCVD)によって作製した。角周波数(ω_f)の低い場合(110)配向が形成され,ω_fが高い場合には(100)配向を形成する。磁場の角周波数の増加にしたがって衝突の可能性を増加させる効果がこの変化に原因である。また,(110)配向膜は(100)配向膜よりも良好な電界放出特性を示した。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  *優先配向 ,  *化学蒸着 ,  *磁場 ,  ウエハ【IC】 ,  周波数 ,  結晶方位 ,  電界放出 ,  磁場効果 ,  微結晶 ,  *ダイヤモンド膜 ,  角周波数 ,  シリコンウエハ ,  アルカン
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  *磁場支援化学蒸着 ,  熱フィラメント化学蒸着 ,  HFCVD

著者キーワード (5件)： Chemical vapor deposition ,  Periodic magnetic field ,  Diamond film ,  Preferred orientation ,  Electron field emission

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： 優先配向 ,  ダイヤモンド膜 ,  作製 ,  磁場 ,  支援 ,  化学蒸着