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J-GLOBAL ID：201602275816999247   整理番号：16A0842547

非常に薄いダイヤモンド状炭素膜の摩擦耐久性の膜厚依存性

Dependence of the friction durability of extremely thin diamond-like carbon films on film thickness

著者 (3件)： Miyake Shojiro (Nippon Institute of Technology, 4-1 Gakuendai, Miyasiro-machi, Saitama 345-8501, Japan) ,  Inagaki Junichi (Nippon Institute of Technology, 4-1 Gakuendai, Miyasiro-machi, Saitama 345-8501, Japan) ,  Miyake Masatoshi (Nishogakusha University, 6-16, Sanbancho, Chiyoda-ku, Tokyo 102-8336, Japan)
資料名： Wear  (Wear)
巻： 356-357  ページ： 66-76  発行年： 2016年06月15日 
JST資料番号： E0377A  ISSN： 0043-1648  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フィルタード陰極真空アーク(FCVA)およびプラズマ化学蒸着(PCVD)法を用いて蒸着した,非常に薄いダイヤモンド状炭素(DLC)膜(厚み0.03-5nm)の摺動耐久性を,負荷増減,ボールオンディスク,および低負荷往復摩擦試験を用いて評価した。摩擦耐久性は,一定膜厚の,FCVA-DLCおよびP-CVD-DLC膜において特に増大した。これらの厚みは,ほとんど表面粗さに近く,膜厚に対応しており,その厚みにおいて,ナノ摩耗プロファイルは,突出部から溝に変化し,ナノスクラッチ抵抗が増大した。摩擦係数の急速な増大によって評価される,FCVA-DLC膜(厚み≧0.4nm)のすぐれた摩擦耐久性を観察した。対照的に,PCVD-DLC膜の摩擦耐久性は,膜厚が0.6nm以上の場合に徐々に増大した。DLC膜は,厚みが2.0nm以上の場合には,試験サイクルの全体数内で摩擦係数の急速な増大を示すことがなかった。非常に薄いDLC膜の摺動特性は,膜厚に依存し;非常に薄いFCVA-DLC膜は,すぐれた耐摩耗性を示す。FCVA-DLC膜が試験サイクルの全体数に耐えた膜厚は,三つの異なる摩擦試験で評価して,CVD-DLC膜の対応する厚みの約1/5である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  炭素 ,  薄膜 ,  摩擦 ,  耐久性 ,  *依存性 ,  *化学蒸着 ,  損傷 ,  気相めっき ,  反応
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】 ,  ナノスクラッチ ,  炭素膜 ,  *膜厚依存性

著者キーワード (4件)： Durability ,  Extremely thin diamond-like carbon film (DLC) ,  Filtered cathodic vacuum arc ionplating ,  Chemical vapor deposition (CVD)

分類 (3件)： 反応に及ぼすその他の効果  (CF02120K) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦 ,  膜厚依存性