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J-GLOBAL ID：201602276869225580   整理番号：16A0679353

ナノスケールCoダマシンBEOL相互接続構造の実験的研究【Powered by NICT】

Experimental study of nanoscale Co damascene BEOL interconnect structures

著者 (17件)： Kelly J. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Chen J. H.-C. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Huang H. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Hu C. K. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Liniger E. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Patlolla R. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Peethala B. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Adusumilli P. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Shobha H. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Nogami T. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Spooner T. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Huang E. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Edelstein D. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Canaperi D. (IBM Research at Albany Nanotech, NY USA) ,  Kamineni V. (GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA) ,  Mont F. (GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA) ,  Siddiqui S. (GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IITC/AMC  ページ： 40-42  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積デュアルダマシンCoおよびCu BEOL配線とバイアを特性化し,10nmノード寸法。24nmと220nm幅の線のCoへのCu線抵抗比は2.1と3.5であった。抵抗を介してCoはCuのそれの1.7倍であり,バイア抵抗障壁層系列に起因する小さい比を持っていた。鎖構造によるCoの電気的連続性は良好であったが,いくつかの鎖-鎖短絡と漏れはCo研磨プロセスからの金属残差を示唆した。通常のBEOLプロセスを用いて作製したCo線とバイアをTEMにより良好なCo充填を示し,誘電体中のCoの可視証拠としていない。Coバイアのための比較的小さい抵抗増加が抵抗効果による可能性を示唆し,より薄い以下抵抗性障壁を用いることができる。Co線抵抗は次世代技術ノード以降までCuと競合できないであろう。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 連続性 ,  銅 ,  残差 ,  配線 ,  *コバルト ,  誘電体 ,  キャラクタリゼーション ,  *相互接続 ,  銅線 ,  *ナノスケール
準シソーラス用語： バリア層 ,  デュアルダマシン ,  実験研究 ,  *BEOL ,  *ダマシン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 有線通信方式・機器  (ND09000H) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノスケール ,  CO ,  ダマシン ,  BEOL ,  相互接続 ,  実験的研究